真空炉 RF-210V
パワー半導体やパワーモジュールなど、大電流素子のリフローはんだ付けに要求される、ボイドを数パーセント以下に抑えるボイドフリーはんだ付けができます。
特長
- -95kPa(G)以下の高真空でリフローはんだ付けを行います。
- Max400℃、Max150mm×150mmのワークまで対応します。
- ホットプレート加熱１ゾーン、冷却１ゾーンの２ゾーン式真空リフロー装置です。
- 窒素（N2）やグリーンガス（N2+H2）も使用できます（ガス雰囲気はんだ付け）。
- 真空環境でのはんだ付けを観測窓から見る事ができます。
仕様
| 加熱部 | ゾーン数 | 1 |
|---|---|---|
| サイズ | 150mm×150mm | |
| 方式 | ホットプレートによるワーク下部からの直接加熱 | |
| 最高温度 | 400℃ | |
| 冷却部 | ゾーン数 | 1 |
| サイズ | 150mm×150mm | |
| 方式 | 冷却プレートによるワーク下部の直接冷却 | |
| コンベヤ | キャリアバー（基板後押し金具）方式 又はシートキャリア方式 （0.125mmtテフロンシートまたは0.03mmt SUS304シート） | |
| 真空源 | 真空ポンプ Max-98kPa(G) | |
| 真空度 | -95kPa(G) 所要時間：150sec（大気圧から） | |
| チャンバー | サイズ | (L)395×(W)340×(H)105mm |
| ワークエリア | (L)300×(W)150×(H)55mm | |
| 観測窓 | 105φ（リフロー部） | |
| 対応ガス | ガス雰囲気はんだ付け：N2またはN2+H2(3-4%) | |
| 制御 | タッチパネル式シーケンサー | |
| センサー端子 | 温度プロファイル測定用センサー端子 3CH | |
| 安全装置 | 漏電／過電流ブレーカー 非常停止スイッチ | |
| 電源 | 単相200V/220V/240V 1.5kW 50/60Hz | |
| 外形寸法 | (W)600×(D)800×(H)860mm | |
| 重量 | 約135kg | |
